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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 关于polymer用RIE刻蚀，用Cr做掩模板
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edwardwitten

铁虫 (初入文坛)

[求助] 关于polymer用RIE刻蚀，用Cr做掩模板 已有1人参与

想刻蚀polymer，采用Cr做掩模板。结果Cr也被刻蚀掉了。Cr厚度为40nm，chuck power是160w，flow rate 120sccm，时间20分钟。用氧气刻蚀的。感觉不科学啊，Cr不该被刻蚀掉啊。这是为什么？？
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1楼 2014-11-03 14:59:31
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Torres丁

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
2楼2015-01-14 11:21:23
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