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axlyjia

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】Si(100)衬底XRD衍射

在这里向各位大牛请教一个小问题

我是做薄膜材料的,最近在Si(100)衬底上镀上一层金属薄膜(Ti、W),膜厚估计约为1微米。当我把试样拿去进行XRD检测时(20-100°),却没有出现Si衬底的衍射峰,按道理,硅择优取向,在69°左右(硅400峰)应该有一个非常强的衍射峰,我拿没镀模的硅片去检测,确实是在69°出现了极强的衍射峰峰。我觉得一个微米的薄膜不至于阻止X射线的散射吧

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-5-7 at 13:43 ]
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落花有意逐流水,流水无心恋落花
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ehshg

木虫 (小有名气)

问一下,1楼、2楼的
为什么衍射峰会消失呢?
能解释下吗,谢谢了!!
3楼2008-05-07 21:32:33
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guodw05

木虫 (正式写手)

你是用的平行光还是聚焦光?
平行光测试肯定不会出现基底Si的峰;
聚焦光测试不出现si的峰也正常,因为你的薄膜有1微米厚,我曾经利用聚焦光测试过我的样品(大概500 nm),也没有出现基底si的峰
2楼2008-05-07 12:01:57
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axlyjia

金虫 (小有名气)

我用的是平行光,据我知道,X射线是能够检测到20-30个微米的深度的啊
我用AlN衬底做比较,进行检测时,AlN衬底衍射峰却出现了啊

不知道怎么解释这个问题啊
落花有意逐流水,流水无心恋落花
4楼2008-05-08 16:22:28
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