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axlyjia金虫 (小有名气)
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[交流]
【请教】Si(100)衬底XRD衍射
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在这里向各位大牛请教一个小问题 我是做薄膜材料的，最近在Si（100）衬底上镀上一层金属薄膜（Ti、W），膜厚估计约为1微米。当我把试样拿去进行XRD检测时（20-100°），却没有出现Si衬底的衍射峰，按道理，硅择优取向，在69°左右（硅400峰）应该有一个非常强的衍射峰，我拿没镀模的硅片去检测，确实是在69°出现了极强的衍射峰峰。我觉得一个微米的薄膜不至于阻止X射线的散射吧 [ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-5-7 at 13:43 ] |
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 XRD测试 |
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guodw05
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2楼2008-05-07 12:01:57