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jhk1031

新虫 (初入文坛)

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[交流] 我用椭偏仪测得的薄膜的光学常数n k跟文献中的相比每个波长下都小了差不多1 已有3人参与

这是怎么回事呢，我是在玻璃上镀膜测得，不知道是不是镀在Si片上有所区别，对n k还不太了解，对衬底有要求么

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1楼 2014-10-27 10:23:50

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bsw0314

新虫 (小有名气)

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专业: 光子与光电子器件

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

椭偏仪的原理很简单，就是测试反射后的光功率，用的也就是简单的snell's law。只不过是很多层膜罢了。
在测试的时候，必须要考虑各层材料，包括衬底材料。然后在材料库中选择合适的模型，或者是自己新建一个材料模型。椭偏仪这个东西，就是原理简单，测试麻烦，尤其是拟合算法。能卖那么高价钱，一方面是其材料库，一方面就是其拟合算法了。
另外，不要指望那些测试的操作人员（不是全部，是部分，甚至是绝大部分）很懂这些原理，很多实验室的所谓老师在操作仪器的时候，也只是按照操作手册而已，根本不了解仪器的原理和注意事项，以及不同的操作（如选择模型等）会对结果产生怎样的影响。最后给你一堆数据，看着很热闹，其实都是垃圾数据，只会误导你，没办法根据测试数据分析指导实验。