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glorylin

金虫 (小有名气)

[求助] 薄膜孔径(大概2nm)用什么方式测最好? 已有2人参与

我在玻璃上长了一层100nm左右厚度的介孔硅薄膜,孔径大概2nm左右。用什么办法能表征孔大小?

最好的话,能得到孔径分布图。非常感谢
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battlewolf

新虫 (初入文坛)

您好  这种尺度很小  用JEOL ARM - 200F   TEM 可以 可以测量到 pm
12楼2016-07-27 21:49:08
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glorylin

金虫 (小有名气)

求助啊,没人懂吗
2楼2014-10-27 09:09:17
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hubuyy

金虫 (小有名气)

TEM应该可以

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2014-10-27 12:19:37
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用AFM可以做,而且还可以测薄膜厚度
4楼2014-10-27 12:28:47
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