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PMMA 匀胶厚度 400nm已有4人参与
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大家好！小弟最近在用匀胶方法在Si上做PMMA薄膜，3000rpm/s， 30s得到的是80nm厚的膜，2000rpm/s得到110nm厚的膜，想再尝试1000rpm/s，不知道结果会怎样，即使得到400nm厚膜，粗糙度会不会很糟糕。大家有做过吗，望多交流指点，谢谢！ |
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无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有145人回复
21楼2014-10-30 07:54:06
yanzijing
金虫 (初入文坛)
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11楼2014-10-24 11:20:52
12楼2014-10-24 11:45:03
yswyx 
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13楼2014-10-24 19:17:27