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请教关于碳化硅不同晶型的氧化性
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想请教各位大神，碳化硅不同的晶型，比如3C-，2H-，4H-等，它们有不同的氧化速率，这种不同来自于什么呢，也就是说，是不同晶型的什么参数引起了氧化性能的不同呢？ 谢谢！ |
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