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请教关于碳化硅不同晶型的氧化性
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想请教各位大神,碳化硅不同的晶型,比如3C-,2H-,4H-等,它们有不同的氧化速率,这种不同来自于什么呢,也就是说,是不同晶型的什么参数引起了氧化性能的不同呢? 谢谢! |
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