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二氧化钛的表征
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大家好，我将二氧化钛沉积到单晶硅上，经过xps表征，说明沉积成功。但是XRD却不出钛的峰，只有硅。沉积的膜厚应该有几十纳米。是不是膜太薄导致的呀？ 另外测了下比表面 ，很大。是不是因为太过于稀疏也会导致不出锋啊？还是有其他的原因会导致出现这样的结果？还有没有其他的方法表征晶型？ 请大家帮忙。 |
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hz_mw
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zuozhijun5134
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5楼2008-05-03 15:52:31
