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二氧化钛的表征
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大家好,我将二氧化钛沉积到单晶硅上,经过xps表征,说明沉积成功。但是XRD却不出钛的峰,只有硅。沉积的膜厚应该有几十纳米。是不是膜太薄导致的呀? 另外测了下比表面 ,很大。是不是因为太过于稀疏也会导致不出锋啊?还是有其他的原因会导致出现这样的结果?还有没有其他的方法表征晶型? 请大家帮忙。 |
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9楼2008-05-03 21:14:29
hz_mw
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zuozhijun5134
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