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vdrlj

[交流] 二氧化钛的表征

大家好,我将二氧化钛沉积到单晶硅上,经过xps表征,说明沉积成功。但是XRD却不出钛的峰,只有硅。沉积的膜厚应该有几十纳米。是不是膜太薄导致的呀?
另外测了下比表面 ,很大。是不是因为太过于稀疏也会导致不出锋啊?还是有其他的原因会导致出现这样的结果?还有没有其他的方法表征晶型?
请大家帮忙。
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vdrlj

普通的TEM可以吗?另外听说红外也可以表征晶型,是吗?
5楼2008-05-03 15:52:31
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hz_mw

金虫 (正式写手)


buffaloli(金币+1,VIP+0):多谢了!
如果作出的氧化钛是单层负载载体上,它就不会出现衍射峰,这是单层自发现象!
此外,XRD仪对晶体的含量也是又要求的,不同的仪器都会有它的最低检出限
2楼2008-05-02 17:45:18
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zuozhijun5134

至尊木虫 (文坛精英)


buffaloli(金币+1,VIP+0):多谢了!
因为XRD侧的是体相的深度与
而XPS这是测的表面3nm左右的深度
所以这个是有区别的
4楼2008-05-02 21:25:51
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vdrlj

普通的TEM可以吗?另外听说红外也可以表征晶型,是吗?
6楼2008-05-03 15:53:01
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