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薄膜课件（PDF版PPT）
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该课件比较详细： 1、真空的基础知识，获得，测量 2、材料的表面，表面热力学 3、薄膜生长热力学 4、薄膜生长动力学 5、pvd:蒸发渡，溅射等 6、cvd 7、基片的影响 8、薄膜测试手段（重点） [search]薄膜[/search] 薄膜.pdf [ Last edited by 江南豪情 on 2008-5-3 at 18:32 ] |
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8楼2008-05-05 11:31:18
看起来内容不错, 支持一下! 2楼2008-05-01 13:32:57
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4楼2008-05-01 23:14:09
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5楼2008-05-01 23:45:53
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