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[资源]
薄膜课件（PDF版PPT）
该课件比较详细：
1、真空的基础知识，获得，测量
2、材料的表面，表面热力学
3、薄膜生长热力学
4、薄膜生长动力学
5、pvd:蒸发渡，溅射等
6、cvd
7、基片的影响
8、薄膜测试手段（重点）
[search]薄膜[/search]
薄膜.pdf
[ Last edited by 江南豪情 on 2008-5-3 at 18:32 ] |
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