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薄膜课件(PDF版PPT)
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该课件比较详细: 1、真空的基础知识,获得,测量 2、材料的表面,表面热力学 3、薄膜生长热力学 4、薄膜生长动力学 5、pvd:蒸发渡,溅射等 6、cvd 7、基片的影响 8、薄膜测试手段(重点) [search]薄膜[/search] 薄膜.pdf [ Last edited by 江南豪情 on 2008-5-3 at 18:32 ] |
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