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metaliium

银虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 磁控溅射 at 2014-09-30 21:41:30
应该是用磁控溅射做出来效果比较好,厚度可以精确控制,6楼是什么方法,不是很了解,可以精确控制厚度吗,薄膜均匀性如何,附着力如何?

当然不可能像磁控溅射那么精确,但是也意味着会比磁控溅射快很多。。。花十分钟搞一层,即使算上烘烤的2个钟头,很多磁控溅射的设备真空也都还没抽下来吧,更何况烘烤也就炉子里一扔的事。。。

lz要求的是几十个微米量级的厚度,精确性根本无所谓,磁控溅射确实可以精确到埃,但这样厚的绝缘层上谁在乎厚度误差个几十一百纳米呢。。。只要转速稳定,膜厚可以非常均匀,反正满足我电子束刻蚀要求,平整度足以做100纳米的结构。。。

和衬底的黏附不成问题,不过polyimide和金属间粘合不是很紧密,如果要进一步搭电极上去,我也有增加粘合的工艺,但是会复杂一点。因为lz没有提出要进一步做金属结构的要求,我假设这个缺点对lz不重要

当然毫无疑问溅射或者蒸发二氧化硅肯定是可行的
11楼2014-10-01 06:29:50
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metaliium

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by flysun at 2014-09-30 06:47:08
因为我对你说的工艺怎么操作不懂,应该在什么仪器上操作啊,能明确点吗,谢谢啦
...

另外我仔细看了一下你的图,你不仅仅需要绝缘层,而是有特定结构的绝缘层。。。所以你肯定需要有个模板。 polyimide 可以被氧气plasma 刻蚀,可以尝试压着模板刻蚀掉不需要的部分。当然肯定会有undercut,效果不一定很好,但还是那句话,你那么巨大的结构,估计也不在乎undercut了

如果你确实想用磁控溅射或者电子束蒸发来做绝缘层,比方说二氧化硅,也没问题,也要压着膜板做,但那两者不太适合做如此厚的结构,速度相对你需要的厚度太慢,成本可能很高,另外我不确定如此厚的膜在应力的作用下质量会如何,会不会开裂

转膜仪我假设任何学校只要有人做纳米器件的话就应该有。
12楼2014-10-01 06:50:32
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匿名

用户注销 (著名写手)

本帖仅楼主可见
13楼2015-09-29 17:02:57
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c1070828224

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by metaliium at 2014-09-30 02:25:01
我用的是polyimide,就转一下膜,然后加热cure就完了,厚度通过选用不同种的polyimide、改变转速以及改变覆盖层数来控制,非常容易,10分钟一片吧(当然加热烘烤是要几个钟头的)。。。

有没没在卷料上进行涂绝缘层的案例
14楼2017-09-06 09:27:58
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dujunwei

金虫 (小有名气)

楼主解决了没,我也遇到同样问题,想请教一下

发自小木虫Android客户端
15楼2018-08-24 16:50:32
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