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flysun银虫 (正式写手)
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怎么在材料表面镀一层可控厚度绝缘层 已有2人参与
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如题：怎么在金属表面上一层固定厚度的绝缘层，再在绝缘层上上一层固定厚度的导电胶。 具体如附图所示，我想在碳钢表面涂抹一层精确厚度0.02 mm的绝缘层，具体形状如图黄色所示。再在绝缘层上涂一层导电银胶或者喷上一层铜或者银也行。也要求导电层厚度为0.02mm以上，也要精确可控制厚度。不知怎么实现呢？  2222.png |
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银虫 (正式写手)
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当然不可能像磁控溅射那么精确，但是也意味着会比磁控溅射快很多。。。花十分钟搞一层，即使算上烘烤的2个钟头，很多磁控溅射的设备真空也都还没抽下来吧，更何况烘烤也就炉子里一扔的事。。。 lz要求的是几十个微米量级的厚度，精确性根本无所谓，磁控溅射确实可以精确到埃，但这样厚的绝缘层上谁在乎厚度误差个几十一百纳米呢。。。只要转速稳定，膜厚可以非常均匀，反正满足我电子束刻蚀要求，平整度足以做100纳米的结构。。。 和衬底的黏附不成问题，不过polyimide和金属间粘合不是很紧密，如果要进一步搭电极上去，我也有增加粘合的工艺，但是会复杂一点。因为lz没有提出要进一步做金属结构的要求，我假设这个缺点对lz不重要 当然毫无疑问溅射或者蒸发二氧化硅肯定是可行的 |
11楼2014-10-01 06:29:50
2楼2014-09-29 19:56:56
flysun
银虫 (正式写手)
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3楼2014-09-29 21:15:06
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