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flysun

银虫 (正式写手)

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[求助] 怎么在材料表面镀一层可控厚度绝缘层已有2人参与

如题：怎么在金属表面上一层固定厚度的绝缘层，再在绝缘层上上一层固定厚度的导电胶。

具体如附图所示，我想在碳钢表面涂抹一层精确厚度0.02 mm的绝缘层，具体形状如图黄色所示。再在绝缘层上涂一层导电银胶或者喷上一层铜或者银也行。也要求导电层厚度为0.02mm以上，也要精确可控制厚度。不知怎么实现呢？

2222.png

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@yswyx

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1楼 2014-09-29 18:05:46

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metaliium

银虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

引用回帖:

7楼: Originally posted by flysun at 2014-09-30 06:47:08
因为我对你说的工艺怎么操作不懂，应该在什么仪器上操作啊，能明确点吗，谢谢啦
...

另外我仔细看了一下你的图，你不仅仅需要绝缘层，而是有特定结构的绝缘层。。。所以你肯定需要有个模板。 polyimide 可以被氧气plasma 刻蚀，可以尝试压着模板刻蚀掉不需要的部分。当然肯定会有undercut，效果不一定很好，但还是那句话，你那么巨大的结构，估计也不在乎undercut了

如果你确实想用磁控溅射或者电子束蒸发来做绝缘层，比方说二氧化硅，也没问题，也要压着膜板做，但那两者不太适合做如此厚的结构，速度相对你需要的厚度太慢，成本可能很高，另外我不确定如此厚的膜在应力的作用下质量会如何，会不会开裂

转膜仪我假设任何学校只要有人做纳米器件的话就应该有。