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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。

[求助] 硅基上的AAO模板怎么去除 已有1人参与

在硅上的磁控溅射的铝膜然后两步阳极氧化形成AAO,然后刻蚀,请问这个AAO怎么去除啊,用氢氧化钠的办法行不通啊,硅也和氢氧化钠反应啊,怎么去除AAO不影响硅基呢?求帮助 啊
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谦虚谨慎的学习,与大家共勉!
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曙光无限

新虫 (正式写手)

围观!求大牛解答

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2014-09-27 17:35:14
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GraceDamien

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

你用模板做的什么,氧化铝既溶于酸又溶于碱,你如果合成的东西也能溶于酸碱,那就没办法了,否则你就用另外一种去溶
开心做科研。
3楼2014-10-14 16:32:11
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