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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。

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专业: 无机非金属类光电信息与功

[求助] 硅基上的AAO模板怎么去除已有1人参与

在硅上的磁控溅射的铝膜然后两步阳极氧化形成AAO，然后刻蚀，请问这个AAO怎么去除啊，用氢氧化钠的办法行不通啊，硅也和氢氧化钠反应啊，怎么去除AAO不影响硅基呢？求帮助啊

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谦虚谨慎的学习，与大家共勉！

1楼 2014-09-27 17:28:32

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曙光无限

新虫 (正式写手)

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[ 发自小木虫客户端 ]

2楼2014-09-27 17:35:14

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GraceDamien

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【答案】应助回帖

你用模板做的什么，氧化铝既溶于酸又溶于碱，你如果合成的东西也能溶于酸碱，那就没办法了，否则你就用另外一种去溶

开心做科研。

3楼2014-10-14 16:32:11

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