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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 三氧化钼和硫磺合成硫化钼的问题
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shangby09

禁虫 (初入文坛)
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1楼 2014-09-25 19:39:02
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静哥哥

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

载气速度是不是太小了，或者上游气体压强太低，导致硫粉蒸汽无法被输送到下游的衬底。我用CVD长过硒化钼，实验次数300+，你说的问题我基本都遇到过，所以你得改进一下你的石英管的水平度或者载气速率或者载气瓶压强，最好都试试。另外，跟药品也有关系，我用过不同公司的试剂，有些公司的试剂就是不容易蒸发，没办法，只有换了。祝你好运
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新手变成老手
2楼2014-10-31 11:19:56
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yyk羊肉串

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

直接把衬底反扣坩埚上，与源正对，温度最好先升高一点，注意气压，这是关键。。。。10tor左右最好
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大家加油
3楼2014-10-31 17:06:06
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虫子丶呆呆

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yyk羊肉串 at 2014-10-31 17:06:06
直接把衬底反扣坩埚上，与源正对，温度最好先升高一点，注意气压，这是关键。。。。10tor左右最好

你的管径是多少？我是直接扣在上面 用1torr ，生长出来怎么不理想
赞一下 回复此楼
知识就是生命
4楼2014-11-19 14:26:42
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