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1楼 2014-09-25 19:39:02

已阅关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

静哥哥

铁杆木虫 (著名写手)

应助: 13 (小学生)
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在线: 883.7小时
虫号: 1397806
注册: 2011-09-10
性别: GG
专业: 半导体材料

【答案】应助回帖

载气速度是不是太小了，或者上游气体压强太低，导致硫粉蒸汽无法被输送到下游的衬底。我用CVD长过硒化钼，实验次数300+，你说的问题我基本都遇到过，所以你得改进一下你的石英管的水平度或者载气速率或者载气瓶压强，最好都试试。另外，跟药品也有关系，我用过不同公司的试剂，有些公司的试剂就是不容易蒸发，没办法，只有换了。祝你好运