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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 材料与材料间接触电阻
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GaulerYoung

新虫 (初入文坛)

[求助] 材料与材料间接触电阻 已有2人参与

请教下各位大牛，不同材料间的接触电阻有什么比较好的方法进行表征（平面接触的电阻）？再问下，当年半导体工艺中不同材料间的接触电阻是用什么方法减少的？减少到了大概多少？还有，用什么方法可以进行接触电阻的计算？量子力学+微扰论还是密度泛函？跪求
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1楼 2014-09-24 23:12:26
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GaulerYoung

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-25 12:02:23
不同材料间的接触电阻进行表征的方法（平面接触的电阻）不能用实际电阻与理论值之间的差值描述吗？
加强洁净度，减少接触处的灰尘和氧化程度；加强接触面的实际接触率；辅以银合金的触点材料，加强接触处的电导率。

五六十年代集成电路产业是用这些方法减小接触电阻的吗？当时的理论计算是怎么做的啊
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4楼2014-09-28 12:38:58
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般是做合金，降低肖特基接触电阻，把barrier lower down。计算接触电阻就不是非常清楚了，用不到那么复杂的东西。你说的那些都是非常微观的东西。
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哈哈哈哈，来吧
2楼2014-09-25 05:24:18
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不同材料间的接触电阻进行表征的方法（平面接触的电阻）不能用实际电阻与理论值之间的差值描述吗？
加强洁净度，减少接触处的灰尘和氧化程度；加强接触面的实际接触率；辅以银合金的触点材料，加强接触处的电导率。
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3楼2014-09-25 12:02:23
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