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christy婵
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虫号: 2714006
注册: 2013-10-10
性别:
MM
专业: 半导体电子器件
[交流]
等离子体仿真
已有2人参与
请教有谁用过comsol或者其他仿真软件模拟ICPCVD和MPCVD里的等离子体分布的吗?求交流!
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sunshine
1楼
2014-09-24 11:30:26
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luqinqiang
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我在用HFSS模拟微波等离子体的电场
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2楼
2016-04-22 22:29:54
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kevinchenye
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2楼
:
Originally posted by
luqinqiang
at 2016-04-22 22:29:54
我在用HFSS模拟微波等离子体的电场
你好,我最近也在用HFSS仿真这个,总是调不谐振,能知道一下么
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3楼
2017-02-21 11:30:26
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