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又见星雨

金虫 (小有名气)

[求助] SEM使用前应检查哪些参数 已有3人参与

SEM使用前应检查哪些参数
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spinwave

木虫 (正式写手)

service OR user
come on
2楼2014-09-23 09:17:38
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viki727

木虫 (初入文坛)

没明白检查参数的目的是什么 如果样品放完了 就检查真空度
3楼2014-09-23 11:02:53
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viki727

木虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by viki727 at 2014-09-23 11:02:53
没明白检查参数的目的是什么 如果样品放完了 就检查真空度

真空度到一定条件才能打开电子束 不同型号的SEM对真空度的要求不一样
4楼2014-09-23 11:04:08
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弦断无人听

木虫 (正式写手)

样品台有没有放进去………………
5楼2014-09-23 11:23:28
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
按操作手册吧,一步步来

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
6楼2014-09-23 11:53:11
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metaliium

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
装样前注意样品台初始位置,之后注意真空度,电子枪电压、电流,样品台高度(防止撞针)

其他参数就算不注意起码不会损毁机子
7楼2014-09-23 12:15:14
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
主要看样品室的真空度吧。另外若配有老式的EBSD,使用前还要经常检查液氮的存量,确保冷却效果。
8楼2014-09-24 07:52:34
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