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又见星雨

金虫 (小有名气)

[求助] SEM使用前应检查哪些参数 已有3人参与

SEM使用前应检查哪些参数
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1楼 2014-09-22 19:10:39
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
主要看样品室的真空度吧。另外若配有老式的EBSD，使用前还要经常检查液氮的存量，确保冷却效果。
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8楼2014-09-24 07:52:34
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viki727

木虫 (初入文坛)
没明白检查参数的目的是什么 如果样品放完了 就检查真空度
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3楼2014-09-23 11:02:53
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viki727

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by viki727 at 2014-09-23 11:02:53
没明白检查参数的目的是什么 如果样品放完了 就检查真空度

真空度到一定条件才能打开电子束 不同型号的SEM对真空度的要求不一样
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4楼2014-09-23 11:04:08
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弦断无人听

木虫 (正式写手)
样品台有没有放进去………………
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5楼2014-09-23 11:23:28
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