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wangxiaofei1981铁虫 (初入文坛)
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[交流]
请教：关于磷硅玻璃回流的问题
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在CMOS工艺中，金属间一般需要淀积表面光滑的二氧化硅作为绝缘层，有采用磷硅玻璃回流技术的，那么磷硅玻璃能不能用pecvd做大面积的沉积？ [ Last edited by SHY31 on 2008-4-23 at 15:19 ] |
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