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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 求问国内哪里可以做平板式氮化硅镀膜
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qxddx

木虫 (小有名气)

[求助] 求问国内哪里可以做平板式氮化硅镀膜 已有1人参与

我的硅片很小，是4cm X 4cm的，之前一直在海润光伏那里镀膜的，不过现在他们那边平板式的做不了了，只能做管式的（但这要求硅片很大），所以想问一下现在还有哪里可以镀膜，3Q~
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1楼 2014-09-15 15:16:27
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个可以用PECVD镀的啊
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2楼2014-09-15 18:13:07
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磁控溅射

新虫 (初入文坛)
磁控溅射做就可以啊，我们经常做的。
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3楼2014-09-23 22:09:21
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