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qxddx

木虫 (小有名气)

[求助] 求问国内哪里可以做平板式氮化硅镀膜 已有1人参与

我的硅片很小,是4cm X 4cm的,之前一直在海润光伏那里镀膜的,不过现在他们那边平板式的做不了了,只能做管式的(但这要求硅片很大),所以想问一下现在还有哪里可以镀膜,3Q~
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这个可以用PECVD镀的啊
2楼2014-09-15 18:13:07
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磁控溅射

新虫 (初入文坛)

磁控溅射做就可以啊,我们经常做的。
3楼2014-09-23 22:09:21
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