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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 求教，磁控溅射做的薄膜如何做XRD分析物相
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boyshen

至尊木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

1400nm已经可以称为块体材料了，用小角略射多此一举，如果普通法测不出来或者效果不理想，你可能更多的要从你膜本身去找原因了，而不是找测试方法。
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21楼2014-09-16 00:39:56
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honghuoyi

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你可以先做一下基底的XRD分析，再做下镀膜基底的XRD分析，信号相减即是薄膜的信息，但扫速要慢误差才不会大。
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22楼2014-09-16 08:50:51
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徐众享

金虫 (小有名气)
引用回帖:
22楼: Originally posted by honghuoyi at 2014-09-16 08:50:51
你可以先做一下基底的XRD分析，再做下镀膜基底的XRD分析，信号相减即是薄膜的信息，但扫速要慢误差才不会大。

请问这个信号相减要怎么做啊？
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加油加油
23楼2014-09-16 09:17:13
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c_kDr

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
前两天也做了铝板上500 nm阳极化氧化铝的样品XRD分析，同样只有基底的峰，但是500 nm厚度的薄膜做过XRD分析，这个厚度不需要小角度XRD也可以检测出来，难道真的是薄膜的关系？？
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24楼2014-09-17 09:12:13
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徐众享

金虫 (小有名气)
引用回帖:
24楼: Originally posted by c_kDr at 2014-09-17 09:12:13
前两天也做了铝板上500 nm阳极化氧化铝的样品XRD分析，同样只有基底的峰，但是500 nm厚度的薄膜做过XRD分析，这个厚度不需要小角度XRD也可以检测出来，难道真的是薄膜的关系？？

我的话主要是用的基体是高速钢，元素有好几种，像很多人用硅片，钛片，就比较简单，我觉得你这个应该也是要做薄膜XRD的吧
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加油加油
25楼2014-09-17 11:35:36
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yun531

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你可以尝试把薄膜刮下来再去测
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Workhard,playharder
26楼2014-09-18 01:11:20
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c_kDr

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
25楼: Originally posted by 徐众享 at 2014-09-17 12:35:36
我的话主要是用的基体是高速钢，元素有好几种，像很多人用硅片，钛片，就比较简单，我觉得你这个应该也是要做薄膜XRD的吧...

就是用薄膜XRD测的，（其实那老师第一次操作失误用的粉体的模式做的，结果出来没有氧化铝峰又核对了一遍重新用薄膜模式做的，但是两个结果也没有多少差别，就是峰强度有所减弱）。我还没用小角度测，经验上500 nm厚度加上不是介孔的话不需要做小角度XRD吧？
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27楼2014-09-18 07:23:07
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honghuoyi

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
23楼: Originally posted by 徐众享 at 2014-09-16 09:17:13
请问这个信号相减要怎么做啊？...

origin里数值相减
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28楼2014-09-20 22:08:15
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徐众享

金虫 (小有名气)
引用回帖:
27楼: Originally posted by c_kDr at 2014-09-18 07:23:07
就是用薄膜XRD测的，（其实那老师第一次操作失误用的粉体的模式做的，结果出来没有氧化铝峰又核对了一遍重新用薄膜模式做的，但是两个结果也没有多少差别，就是峰强度有所减弱）。我还没用小角度测，经验上500 nm厚 ...

我也不造，这个小角度是指入射角很小
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加油加油
29楼2014-09-23 09:11:27
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ChuDalao

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
17楼: Originally posted by 徐众享 at 2014-09-15 09:43:31
钢片做薄，这个太难了，很硬的...

你可以用化学腐蚀的方法啊！拿树脂把你的薄膜做个保护层什么的然后从背面开始腐蚀。
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谦谦君子，卑以自牧也。
30楼2014-09-25 16:46:16
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