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徐众享

金虫 (小有名气)

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[求助] 求教，磁控溅射做的薄膜如何做XRD分析物相已有11人参与

大家好，我用磁控溅射在高速钢基体上镀膜，膜厚只有140纳米左右，由于一直是菜鸟一只，稀里糊涂的就去做了XRD，分析出来的峰基本是基体的峰，薄膜的峰基本没有，请教各位大神们，我这样要做什么样的XRD啊，要怎么做？

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加油加油

1楼 2014-09-14 13:46:42

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徐众享

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引用回帖:

24楼: Originally posted by c_kDr at 2014-09-17 09:12:13
前两天也做了铝板上500 nm阳极化氧化铝的样品XRD分析，同样只有基底的峰，但是500 nm厚度的薄膜做过XRD分析，这个厚度不需要小角度XRD也可以检测出来，难道真的是薄膜的关系？？

我的话主要是用的基体是高速钢，元素有好几种，像很多人用硅片，钛片，就比较简单，我觉得你这个应该也是要做薄膜XRD的吧