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徐众享

金虫 (小有名气)

[求助] 求教,磁控溅射做的薄膜如何做XRD分析物相 已有11人参与

大家好,我用磁控溅射在高速钢基体上镀膜,膜厚只有140纳米左右,由于一直是菜鸟一只,稀里糊涂的就去做了XRD,分析出来的峰基本是基体的峰,薄膜的峰基本没有,请教各位大神们,我这样要做什么样的XRD啊,要怎么做?
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加油加油
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c_kDr

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
25楼: Originally posted by 徐众享 at 2014-09-17 12:35:36
我的话主要是用的基体是高速钢,元素有好几种,像很多人用硅片,钛片,就比较简单,我觉得你这个应该也是要做薄膜XRD的吧...

就是用薄膜XRD测的,(其实那老师第一次操作失误用的粉体的模式做的,结果出来没有氧化铝峰又核对了一遍重新用薄膜模式做的,但是两个结果也没有多少差别,就是峰强度有所减弱)。我还没用小角度测,经验上500 nm厚度加上不是介孔的话不需要做小角度XRD吧?
27楼2014-09-18 07:23:07
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徐众享

金虫 (小有名气)

前面说错了,是1400纳米,1.4微米左右
加油加油
3楼2014-09-14 14:16:52
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lzh_laubert

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
徐众享: 金币+2, 有帮助 2014-10-08 15:54:38
去做小角XRD 掠入射,扫的慢一些,这个膜已经很厚了,肯定也已测出来。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2014-09-14 15:12:14
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
徐众享: 金币+8, 有帮助 2014-10-08 15:55:37
小角略入射,慢扫速,试试吧,还没有的话可能是晶型不好
5楼2014-09-14 15:13:22
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