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浮区单晶炉通气分流量计量程大小
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| 本人在搭建浮区单晶炉气分及气路部分。有四个气瓶，无腐蚀性气体。需要四个质量流量计。gas guide的大小大约是40~70L（10~15cm的直径，1m左右的高度）最高可承受的气压为10个大气压。以此标准，按照最高的10个大气压，各位用浮区单晶炉的前辈，说说流量计量程什么范围比较合适。说的不对或是不专业的地方还请大家指出！！刚刚接触。还望大神指教，虽然小弟金币不多，10枚略表心意吧！！！ |
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