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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 气体传感器的腔体及气体浓度控制
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xiaoxiaosusu

金虫 (正式写手)

[求助] 气体传感器的腔体及气体浓度控制 已有2人参与

我做半导体气体传感器的，我想问大家都是怎么控制气体浓度的？是有专门的气体腔体吗？这种腔体在哪里买呢，可以提供一个网址吗？
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专心科研，专心才能出成果，fighting!
1楼 2014-09-02 20:24:28
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fuchen92

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
气体腔室找机械加工的地方定制就可以。
气体浓度如果是某些特定的浓度可以找卖气体的公司，他们可以给你配。如果你想精确实时的控制气体浓度的话，可以考虑用MFC来实现，不过价格有点小贵
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2楼2014-09-02 21:48:10
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xiaoxiaosusu

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by fuchen92 at 2014-09-02 21:48:10
气体腔室找机械加工的地方定制就可以。
气体浓度如果是某些特定的浓度可以找卖气体的公司，他们可以给你配。如果你想精确实时的控制气体浓度的话，可以考虑用MFC来实现，不过价格有点小贵

谢谢啊，那你能给我推荐一些网址吗
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专心科研，专心才能出成果，fighting!
3楼2014-09-04 11:54:42
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ielwang

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

确定腔体内的气体浓度的话，可以用气体分析仪，在网上搜一下就会有很多卖的。
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4楼2014-09-19 08:48:27
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