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气体传感器的腔体及气体浓度控制
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xiaoxiaosusu
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专业: 半导体材料
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]
气体传感器的腔体及气体浓度控制
已有2人参与
我做半导体气体传感器的,我想问大家都是怎么控制气体浓度的?是有专门的气体腔体吗?这种腔体在哪里买呢,可以提供一个网址吗?
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1楼
2014-09-02 20:24:28
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ielwang
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专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
确定腔体内的气体浓度的话,可以用气体分析仪,在网上搜一下就会有很多卖的。
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4楼
2014-09-19 08:48:27
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fuchen92
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【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
气体腔室找机械加工的地方定制就可以。
气体浓度如果是某些特定的浓度可以找卖气体的公司,他们可以给你配。如果你想精确实时的控制气体浓度的话,可以考虑用MFC来实现,不过价格有点小贵
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2楼
2014-09-02 21:48:10
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xiaoxiaosusu
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专业: 半导体材料
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2楼
:
Originally posted by
fuchen92
at 2014-09-02 21:48:10
气体腔室找机械加工的地方定制就可以。
气体浓度如果是某些特定的浓度可以找卖气体的公司,他们可以给你配。如果你想精确实时的控制气体浓度的话,可以考虑用MFC来实现,不过价格有点小贵
谢谢啊,那你能给我推荐一些网址吗
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专心科研,专心才能出成果,fighting!
3楼
2014-09-04 11:54:42
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