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janeleeran

铜虫 (小有名气)

[交流] 请教台阶仪测量

请教各位高手,台阶仪测量的原理是什么?对测量样品的制备有什么要求吗?比如说,样品的大小?薄膜台阶的厚度?怎么得到台阶?其它的要求什么的,谢谢!^_^
[search]台阶仪 薄膜测量[/search]
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kowlnay

铜虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
台阶仪原理很简单,就是一个探针扫描过样品的表面,触摸到样品高低不平的台阶形貌,然后把这个信号放大,输出,对样品要求简单,一般的固体样品都没问题,大小的话15厘米左右都可以,Veeco的台阶高度能测到1mm,可以测台阶高度,波纹度,粗糙度等,台阶的高度会直接显示在电脑上,具体要动一下鼠标,比较简单的-----------说了这么多,赏点金币嘛,虽然晚了这么久回答
瑞士CSM公司(表面力学测试)
2楼2011-08-18 09:17:26
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