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janeleeran

铜虫 (小有名气)

[交流] 请教台阶仪测量

请教各位高手，台阶仪测量的原理是什么？对测量样品的制备有什么要求吗？比如说，样品的大小？薄膜台阶的厚度？怎么得到台阶？其它的要求什么的，谢谢！^_^
[search]台阶仪 薄膜测量[/search]
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1楼 2008-04-16 11:21:07
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kowlnay

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
台阶仪原理很简单，就是一个探针扫描过样品的表面，触摸到样品高低不平的台阶形貌，然后把这个信号放大，输出，对样品要求简单，一般的固体样品都没问题，大小的话15厘米左右都可以，Veeco的台阶高度能测到1mm，可以测台阶高度，波纹度，粗糙度等，台阶的高度会直接显示在电脑上，具体要动一下鼠标，比较简单的-----------说了这么多，赏点金币嘛，虽然晚了这么久回答
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瑞士CSM公司（表面力学测试）
2楼2011-08-18 09:17:26
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