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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 紫外激光加工
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carson-THU

铜虫 (初入文坛)

[求助] 紫外激光加工 已有4人参与

各位虫友，
       本人想在环氧树脂的表面刻一些微米级（1-10微米左右）的通道，找来找去觉得紫外激光加工应该是比较靠谱的。
目前看到武汉光电实验室和华科的激光加工实验室的紫外微加工设备比较靠谱。
      求了解这方面的大神给支支招，不胜感激！
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helloworld
1楼 2014-08-27 11:46:25
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carson-THU

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by babyoflion at 2014-08-29 12:48:30
具体能够做到多少 我不清楚，我不是做这个的！我只是去加工过，所以略懂一二；别说加工毫米级深度不能达到10um就算是只加工几微米深度 线宽都不一定能控制到10um的；精确控制的话，如果设备上带高精度定位仪或者 提 ...

你说的加工的地方在哪？我也可以去问问啊
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helloworld
11楼2014-08-29 13:54:25
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
紫外微加工设备的光斑都大于你要的尺寸，所以很难实现。
如果你的环氧树脂是平整的薄膜表面，还是用光刻+刻蚀的方式来实现比较容易。
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2楼2014-08-27 17:31:36
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carson-THU

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-08-27 17:31:36
紫外微加工设备的光斑都大于你要的尺寸，所以很难实现。
如果你的环氧树脂是平整的薄膜表面，还是用光刻+刻蚀的方式来实现比较容易。

非常感谢，如果是比较厚的环氧树脂，比如几个mm，保证某一面平整可以么？
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helloworld
3楼2014-08-28 08:43:31
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carson-THU

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-08-27 17:31:36
紫外微加工设备的光斑都大于你要的尺寸，所以很难实现。
如果你的环氧树脂是平整的薄膜表面，还是用光刻+刻蚀的方式来实现比较容易。

另外，还想问一下紫外微加工设备可以切开1-2mm厚的环氧树脂材料么？
对这一块完全不了解，所以问题比较多，非常感谢
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helloworld
4楼2014-08-28 08:46:41
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