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renhuangfuxi
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[求助]
关于采用微波等离子体化学气相沉积MPCVD制备石墨烯的疑惑
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各位大神:小弟最近正在“摸索用MPCVD制备大面积石墨烯,可是刚在起步阶段就备受打击: (1)发现制备的东西不是薄膜,也不知道是什么。产物就像是平时的“锅底灰”一样。小弟实在不知道这是什么原因造成的,是因为气压的原因还是因为温度不够,盼望各位大神指教; (2)关于采用铜膜作为基底,发现温度还未升上来,就已经被氢等离子刻蚀得差不多了,所以就如何使用MPCVD在短时间内升高温度一并向各位大神求教。 (3)如果这个主题在这个版块不合适,那小弟应该在哪个版块发表。 ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
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