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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 碳化硅，单晶硅和SOI高温传感器的应用
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zbma

新虫 (初入文坛)

[交流] 碳化硅，单晶硅和SOI高温传感器的应用 已有1人参与

各位大侠，上述三种材料作为研究高温膜片式压力传感器各自有什么优缺点？是什么原因限制了各自的温度范围呢？求解
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1楼 2014-08-25 16:54:04
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杰克高杰

木虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
碳化硅的压力传感器做的最好的是美国NASA，还有德国 Berlin TU~；硅基压力传感器是应用最为广泛的；SOI是美国Kulite 公司的主打产品工作温度低至零下，高温可以到500℃。限制其工作温度的方面有两个：1、衬底本身，2、封装材料。比如说硅材料，在温度超过250℃时，本征激发产生的载流子占主要，这样就会造成器件失效。
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SiCMEMS
2楼2015-05-14 19:29:42
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