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zbma

新虫 (初入文坛)

应助: 3 (幼儿园)
金币: 24
帖子: 15
在线: 12.3小时
虫号: 1464730
注册: 2011-10-28
性别: GG
专业: 微/纳机械系统

[交流] 碳化硅，单晶硅和SOI高温传感器的应用已有1人参与

各位大侠，上述三种材料作为研究高温膜片式压力传感器各自有什么优缺点？是什么原因限制了各自的温度范围呢？求解

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第三代半导体碳化硅单晶的应用前景及产业化前景已经有28人回复

1楼 2014-08-25 16:54:04

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

杰克高杰

木虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 2073.6
帖子: 20
在线: 18.4小时
虫号: 2791108
注册: 2013-11-10
性别: GG
专业: 半导体电子器件

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

碳化硅的压力传感器做的最好的是美国NASA，还有德国 Berlin TU~；硅基压力传感器是应用最为广泛的；SOI是美国Kulite 公司的主打产品工作温度低至零下，高温可以到500℃。限制其工作温度的方面有两个：1、衬底本身，2、封装材料。比如说硅材料，在温度超过250℃时，本征激发产生的载流子占主要，这样就会造成器件失效。

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