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咖啡路

新虫 (初入文坛)

[求助] 有氩气进去,流量计显示仍为零,求处理 已有3人参与

用的是沈科仪的560磁控溅射,充入氩气,真空计示数上升,但流量计显示仍为零,关闭仪器,过一两天流量计又正常工作了,这种情况已出现好几次,求解答,谢谢。
新手,金币不多,请见谅。
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
会不会是哪里漏气了啊
麦麦爸爸爱小牛
2楼2014-08-21 18:15:45
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
咖啡路: 金币+5 2014-08-24 15:52:40
可能是仪器气路管道与阀门的阻力导致的只进气、不出气的情况吧?
3楼2014-08-21 23:00:46
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CADELSKY

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

4楼2014-08-22 10:23:20
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
问厂家啊?让他们来给你解决问题。
5楼2014-08-22 22:51:42
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咖啡路

新虫 (初入文坛)

工程师已过来看了,问题是流量计的变位器(就是那个调节流量的旋钮)接触不良,谢谢上面的回复。
PS:如果不换的话,可以继续加大流量,示数就会上去的,再调回去。
6楼2014-08-24 15:52:17
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