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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 有氩气进去，流量计显示仍为零，求处理
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咖啡路

新虫 (初入文坛)

[求助] 有氩气进去，流量计显示仍为零，求处理 已有3人参与

用的是沈科仪的560磁控溅射，充入氩气，真空计示数上升，但流量计显示仍为零，关闭仪器，过一两天流量计又正常工作了，这种情况已出现好几次，求解答，谢谢。
新手，金币不多，请见谅。
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1楼 2014-08-21 11:55:30
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
会不会是哪里漏气了啊
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麦麦爸爸爱小牛
2楼2014-08-21 18:15:45
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
咖啡路: 金币+5 2014-08-24 15:52:40
可能是仪器气路管道与阀门的阻力导致的只进气、不出气的情况吧？
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3楼2014-08-21 23:00:46
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CADELSKY

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2014-08-22 10:23:20
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
问厂家啊？让他们来给你解决问题。
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5楼2014-08-22 22:51:42
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咖啡路

新虫 (初入文坛)
工程师已过来看了，问题是流量计的变位器（就是那个调节流量的旋钮）接触不良，谢谢上面的回复。
PS：如果不换的话，可以继续加大流量，示数就会上去的，再调回去。
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6楼2014-08-24 15:52:17
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