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焦天鹏

铜虫 (小有名气)

[求助] 单晶硅制绒 已有4人参与

抛光的单晶硅片,用2%KOH+10%异丙醇在80℃制绒,大约多少分钟合适,是不是硅片抛光后,制绒的时间会加长,因为表征上出现了一些问题,所以想先听听大家的经验。
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焦天鹏

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
12楼: Originally posted by HIT_飞 at 2014-09-09 17:02:59
还是有斑点,而且颜色不均匀,可以再显微镜下放大一定倍数观察一下,看看到底对制绒形貌有无影响,然后再进行分析。此外,初步推测你制绒的时候一定没有加添加剂...

这是我用单晶硅在2%TMAH+8%异丙醇+80℃+30分钟制绒出来(没有加搅拌),在100倍显微镜下的结果,貌似没形成金字塔结构,上面的图片就是实物图。心里很着急,不知道怎么会这样,还请指点一下。
单晶硅制绒
100tmah.jpg

13楼2014-09-09 20:30:09
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查看全部 18 个回答

cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
焦天鹏: 金币+3, 有帮助 2014-08-21 18:37:02
抛光和不抛光不会影响制绒的时间,具体到你需要达到什么的绒面情况,时间和温度都可以调节,特别是制绒之后金字塔表面的光滑度这个跟制绒过程和步骤关系很大。
2楼2014-08-20 22:22:55
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

感谢参与,应助指数 +1
穿越千年: 屏蔽内容, 违规存档, 为了小木虫的安全,本版禁止一切形式的外链,希望理解并合作 2014-08-22 08:33:02
本帖内容被屏蔽

3楼2014-08-20 22:42:21
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★
焦天鹏: 金币+3, 有帮助 2014-08-21 18:36:15
引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2014-08-20 22:42:21
楼主参考一下下面试验总结:
单晶硅制绒

参考一下下面所附的图片。
单晶硅制绒-1
未命名01.JPG
4楼2014-08-20 22:46:06
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