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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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焦天鹏

铜虫 (小有名气)

[求助] 单晶硅制绒 已有4人参与

抛光的单晶硅片，用2%KOH+10%异丙醇在80℃制绒，大约多少分钟合适，是不是硅片抛光后，制绒的时间会加长，因为表征上出现了一些问题，所以想先听听大家的经验。
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1楼 2014-08-20 21:11:14
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
焦天鹏: 金币+3, ★有帮助 2014-08-21 18:37:02
抛光和不抛光不会影响制绒的时间，具体到你需要达到什么的绒面情况，时间和温度都可以调节，特别是制绒之后金字塔表面的光滑度这个跟制绒过程和步骤关系很大。
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2楼2014-08-20 22:22:55
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)
感谢参与，应助指数 +1
穿越千年: 屏蔽内容, 违规存档, 为了小木虫的安全，本版禁止一切形式的外链，希望理解并合作 2014-08-22 08:33:02
本帖内容被屏蔽
3楼2014-08-20 22:42:21
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★
焦天鹏: 金币+3, ★有帮助 2014-08-21 18:36:15
引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2014-08-20 22:42:21
楼主参考一下下面试验总结：
单晶硅制绒

参考一下下面所附的图片。
单晶硅制绒
未命名01.JPG
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4楼2014-08-20 22:46:06
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焦天鹏

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by cord at 2014-08-20 22:22:55
抛光和不抛光不会影响制绒的时间，具体到你需要达到什么的绒面情况，时间和温度都可以调节，特别是制绒之后金字塔表面的光滑度这个跟制绒过程和步骤关系很大。

谢谢了，制绒后的清洗步骤不知道能不能跟您请教一下。我一般是用15%盐酸（不加过氧化氢）常温泡一个小时，然后放到氢氟酸中泡着，再用水清洗，不知道这样可不可以？
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5楼2014-08-21 18:40:42
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焦天鹏

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by peterflyer at 2014-08-20 22:46:06
参考一下下面所附的图片。

未命名01.JPG
...

谢谢了那
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6楼2014-08-21 18:40:57
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HIT_飞

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
焦天鹏: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-09-06 10:49:42
提供一个建议：
1.在KOH+异丙醇里面处理30min，取出酸洗+水洗；
2.重复上述操作
这是目前工厂里面采取的制绒方法，可有效缩短制绒时间
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7楼2014-09-06 09:53:37
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焦天鹏

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by HIT_飞 at 2014-09-06 09:53:37
提供一个建议：
1.在KOH+异丙醇里面处理30min，取出酸洗+水洗；
2.重复上述操作
这是目前工厂里面采取的制绒方法，可有效缩短制绒时间

谢谢了，我制绒出来的硅片有白斑，颜色不均匀，请问是怎么回事
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8楼2014-09-06 10:50:25
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HIT_飞

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 焦天鹏 at 2014-09-06 10:50:25
谢谢了，我制绒出来的硅片有白斑，颜色不均匀，请问是怎么回事...

首先你要确定白斑是什么物质，在此处应该是二氧化硅，这是由于KOH侵蚀的过程中产生SiO2，附着在硅片表面，妨碍了进一步侵蚀，导致颜色不均一，甚至是出现白斑。所以，应该是每处理一段时间，就进行清洗，然后再继续侵蚀。
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9楼2014-09-07 14:27:08
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焦天鹏

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by HIT_飞 at 2014-09-07 14:27:08
首先你要确定白斑是什么物质，在此处应该是二氧化硅，这是由于KOH侵蚀的过程中产生SiO2，附着在硅片表面，妨碍了进一步侵蚀，导致颜色不均一，甚至是出现白斑。所以，应该是每处理一段时间，就进行清洗，然后再继续 ...

谢谢了！
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10楼2014-09-07 19:34:29
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