24小时热门版块排行榜    

查看: 3150  |  回复: 17

焦天鹏

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by HIT_飞 at 2014-09-07 14:27:08
首先你要确定白斑是什么物质,在此处应该是二氧化硅,这是由于KOH侵蚀的过程中产生SiO2,附着在硅片表面,妨碍了进一步侵蚀,导致颜色不均一,甚至是出现白斑。所以,应该是每处理一段时间,就进行清洗,然后再继续 ...

这是我制绒出来的硅片,不知道这种样子是不是正常,觉得表面颜色样子很丑,求指点。
单晶硅制绒
1133.jpg

11楼2014-09-09 14:22:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

HIT_飞

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
11楼: Originally posted by 焦天鹏 at 2014-09-09 14:22:01
这是我制绒出来的硅片,不知道这种样子是不是正常,觉得表面颜色样子很丑,求指点。

1133.jpg
...

还是有斑点,而且颜色不均匀,可以再显微镜下放大一定倍数观察一下,看看到底对制绒形貌有无影响,然后再进行分析。此外,初步推测你制绒的时候一定没有加添加剂
12楼2014-09-09 17:02:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

焦天鹏

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
12楼: Originally posted by HIT_飞 at 2014-09-09 17:02:59
还是有斑点,而且颜色不均匀,可以再显微镜下放大一定倍数观察一下,看看到底对制绒形貌有无影响,然后再进行分析。此外,初步推测你制绒的时候一定没有加添加剂...

这是我用单晶硅在2%TMAH+8%异丙醇+80℃+30分钟制绒出来(没有加搅拌),在100倍显微镜下的结果,貌似没形成金字塔结构,上面的图片就是实物图。心里很着急,不知道怎么会这样,还请指点一下。
单晶硅制绒-1
100tmah.jpg

13楼2014-09-09 20:30:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

HIT_飞

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
13楼: Originally posted by 焦天鹏 at 2014-09-09 20:30:09
这是我用单晶硅在2%TMAH+8%异丙醇+80℃+30分钟制绒出来(没有加搅拌),在100倍显微镜下的结果,貌似没形成金字塔结构,上面的图片就是实物图。心里很着急,不知道怎么会这样,还请指点一下。

100tmah.jpg
...

首先,我们能从图中看到的信息就是已经出现了部分金字塔结构,但是特别不均匀,可能是以下几方面的问题:
1.单晶硅纯度有级别够么;
2.侵蚀时间是不是有点儿短,侵蚀30min,清洗,再侵蚀30min;
3.溶液粘度怎样,要不要添加消泡剂,增加一定的粘度
14楼2014-09-11 23:11:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

焦天鹏

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
14楼: Originally posted by HIT_飞 at 2014-09-11 23:11:47
首先,我们能从图中看到的信息就是已经出现了部分金字塔结构,但是特别不均匀,可能是以下几方面的问题:
1.单晶硅纯度有级别够么;
2.侵蚀时间是不是有点儿短,侵蚀30min,清洗,再侵蚀30min;
3.溶液粘度怎样 ...

嗯 好的 谢谢了
15楼2014-09-12 20:32:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

justily

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
焦天鹏: 金币+2, 有帮助 2014-09-17 08:59:32
从楼主的图片来看,没有完全形成金字塔,绒面没起来。

现在生产线上的单晶硅绒面金字塔一般都在3μm左右,甚至更大。

建议加入制绒添加剂再试试。
16楼2014-09-16 16:20:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

焦天鹏

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
16楼: Originally posted by justily at 2014-09-16 16:20:04
从楼主的图片来看,没有完全形成金字塔,绒面没起来。

现在生产线上的单晶硅绒面金字塔一般都在3μm左右,甚至更大。

建议加入制绒添加剂再试试。

谢谢了
17楼2014-09-17 08:59:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

伊纱

铜虫 (小有名气)

你好,我最近在做KOH刻蚀硅表面,想咨询个问题,四面体间距很大,几十微米,很稀疏。肉眼看表面亮亮的,像没反应的一样
18楼2018-05-31 18:38:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 焦天鹏 的主题更新
信息提示
请填处理意见