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SiC 晶圆的预处理 已有4人参与
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老板给提供了个SiC的晶圆（W4NRD0X-0000） 可是晶圆的表面不干净，直接上图： 这些nanoparticles，是什么玩意啊，自然氧化的结果吗，用什么方法除去，试过degassing 600度 30min，效果不明显。 化学办法能有效吗？ 求高人指点一二。  SiC.jpg |
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zhoufeiyun
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