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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » SiC 晶圆的预处理
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maosui001

铜虫 (初入文坛)

[交流] SiC 晶圆的预处理 已有4人参与

老板给提供了个SiC的晶圆（W4NRD0X-0000）

可是晶圆的表面不干净，直接上图：

这些nanoparticles，是什么玩意啊，自然氧化的结果吗，用什么方法除去，试过degassing 600度 30min，效果不明显。
化学办法能有效吗？

求高人指点一二。

SiC 晶圆的预处理
SiC.jpg
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yousyunnsei

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1楼 2014-08-19 20:53:35
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
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先问你老板，搞清楚SiC晶圆的历史， 特别是表面这些是什么东西，再去寻求处理方法。
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2楼2014-08-20 01:00:14
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也行也成

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
得先问清是怎么加工的啊
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3楼2014-08-20 09:13:17
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maosui001

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by cord at 2014-08-20 01:00:14
先问你老板，搞清楚SiC晶圆的历史， 特别是表面这些是什么东西，再去寻求处理方法。

老板说这个晶圆很久了，但是是个没有用过的
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4楼2014-08-20 10:09:28
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maosui001

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 也行也成 at 2014-08-20 09:13:17
得先问清是怎么加工的啊

老板说这是没有用过的晶圆，为什么这样他自己也不知道
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5楼2014-08-20 10:10:48
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zhoufeiyun

新虫 (初入文坛)
★
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引用回帖:
5楼: Originally posted by maosui001 at 2014-08-20 10:10:48
老板说这是没有用过的晶圆，为什么这样他自己也不知道...

你先进行有机加超声清洗，在进行水洗，在进行高压水洗，然后再做descum，如果不行可能就不好使了
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looking for
6楼2014-09-19 10:52:28
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yousyunnsei

捐助贵宾 (职业作家)
★
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表面已经氧化，有条件先进行精抛光，然后进行酸性刻蚀+去等离子水清洗，那样出来的SiC wafer可以直接进行外延生长了。
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使人成熟的不是岁月，而是经历。
7楼2015-11-27 16:58:59
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