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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 在PMMA上的做一个凹槽
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jinaqiaoqiao

新虫 (初入文坛)

[求助] 在PMMA上的做一个凹槽 已有5人参与

在基片上通过匀胶覆上一层厚度约1.5um的PMMA，现在想在PMMA上做一个半径5um的凹槽。
凹槽周围还是1.5um厚，越到凹槽中心厚度越小，凹槽中心的厚度在100nm以下。
请问各位大虾是否有好的建议呢？
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@lee0803

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天王盖地虎
1楼 2014-08-14 11:09:28
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西塔小西西

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2014-08-15 13:17:00
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西塔小西西

禁虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jinaqiaoqiao: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-08-18 22:28:19
本帖内容被屏蔽
2楼2014-08-14 11:49:26
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jinaqiaoqiao

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 西塔小西西 at 2014-08-14 11:49:26
用纳米压痕仪就行，有各种不同大小和形状的针尖可以选择。

对纳米压痕仪不太了解。但是PMMA匀胶过后就已经干了，如果直接压的话很难压到100nm以下吧。
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天王盖地虎
3楼2014-08-14 11:56:59
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
做一个锥型模具，做热压印。
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5楼2014-08-15 13:20:45
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