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jinaqiaoqiao

新虫 (初入文坛)

[求助] 在PMMA上的做一个凹槽 已有5人参与

在基片上通过匀胶覆上一层厚度约1.5um的PMMA,现在想在PMMA上做一个半径5um的凹槽。
凹槽周围还是1.5um厚,越到凹槽中心厚度越小,凹槽中心的厚度在100nm以下。
请问各位大虾是否有好的建议呢?
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天王盖地虎
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西塔小西西

禁虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★ ★
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jinaqiaoqiao: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-08-18 22:28:19
本帖内容被屏蔽

2楼2014-08-14 11:49:26
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jinaqiaoqiao

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 西塔小西西 at 2014-08-14 11:49:26
用纳米压痕仪就行,有各种不同大小和形状的针尖可以选择。

对纳米压痕仪不太了解。但是PMMA匀胶过后就已经干了,如果直接压的话很难压到100nm以下吧。
天王盖地虎
3楼2014-08-14 11:56:59
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西塔小西西

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

4楼2014-08-15 13:17:00
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
做一个锥型模具,做热压印。
5楼2014-08-15 13:20:45
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
采购一台热压机,慢慢试
6楼2014-08-15 13:47:21
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你这个肯定是压印比较理想,要不然无法实现那么好的阶梯性
7楼2014-08-15 18:12:27
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jasenkingjoy

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用PDMS做一个模具应该可以的
8楼2014-08-17 10:22:41
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jinaqiaoqiao

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by jasenkingjoy at 2014-08-17 10:22:41
用PDMS做一个模具应该可以的

多谢,这个模具应该用什么方法做呢?
天王盖地虎
9楼2014-08-18 22:20:05
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jinaqiaoqiao

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2014-08-15 13:20:45
做一个锥型模具,做热压印。

我用20um的小球来做热压印,加热到160度了,但是感觉小球压得不深,觉得可能压力不够。请问一般热压印需要多大的压力啊?
天王盖地虎
10楼2014-08-18 22:22:51
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