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0605102034铜虫 (著名写手)
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[求助]
微波氢等离子体的辉光放电
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| 各位虫友,小弟现在做微波等离子体方面的工作,由于也是初次接触,所以还有很多不明白的地方向大家请教。最近在用氢气作为气源,在微波的作用下,生成的等离子体产生异常现象,主要情况是如下:在开始通入氢气并起辉后,氢等离子体呈现出正常的蓝紫色,随着微波功率的增加,压力的逐渐增大,等离子体颜色开始微微变红,这种现象产生后,腔体的压强增速立刻变快,以50—100Pa/s的速度增长,同时通过调节微调阀也不能降低腔体内的压强,这过程中等离子体直径开始收缩变小,中间形成一根亮柱子,温度也升高得较快,到最后等离子体的颜色开始变成淡蓝色,亮柱子更加明显,整个等离子体开始在样品台上晃动,腔体内压强也失控。具体情况如图1-6所示:如有虫友知道,希望能告诉一下,谢谢大家了! |
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