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0605102034铜虫 (著名写手)
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[求助]
微波氢等离子体的辉光放电
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| 各位虫友，小弟现在做微波等离子体方面的工作，由于也是初次接触，所以还有很多不明白的地方向大家请教。最近在用氢气作为气源，在微波的作用下，生成的等离子体产生异常现象，主要情况是如下：在开始通入氢气并起辉后，氢等离子体呈现出正常的蓝紫色，随着微波功率的增加，压力的逐渐增大，等离子体颜色开始微微变红，这种现象产生后，腔体的压强增速立刻变快，以50—100Pa/s的速度增长，同时通过调节微调阀也不能降低腔体内的压强，这过程中等离子体直径开始收缩变小，中间形成一根亮柱子，温度也升高得较快，到最后等离子体的颜色开始变成淡蓝色，亮柱子更加明显，整个等离子体开始在样品台上晃动，腔体内压强也失控。具体情况如图1-6所示：如有虫友知道，希望能告诉一下，谢谢大家了！ |
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