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铜虫 (初入文坛)

[求助] Ga2O3薄膜在可见光范围内透光率很低，只有20-30%，是什么原因已有1人参与

射频磁控溅射，450℃，80W,2h,然后950度退火处理，制备的Ga2O3薄膜，在可见光范围内的透过率只有百分之二十几的样子，请问各位大神这是什么原因呢？

1楼 2014-08-09 15:01:58

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little_mouse(ivansdk代发): 金币+3 2014-11-11 11:40:46

你检测一下 Ga2O3 是多少？你基底是什么材料的？在950度退火，基底材料是否有问题？

2楼2014-08-11 11:46:57

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铜虫 (初入文坛)

引用回帖:

2楼: Originally posted by lsx2121 at 2014-08-11 11:46:57
你检测一下 Ga2O3 是多少？你基底是什么材料的？在950度退火，基底材料是否有问题？

基片是石英玻璃

3楼2014-09-03 17:44:02

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