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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » Ga2O3薄膜在可见光范围内透光率很低，只有20-30%，是什么原因
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little_mouse

铜虫 (初入文坛)

[求助] Ga2O3薄膜在可见光范围内透光率很低，只有20-30%，是什么原因 已有1人参与

射频磁控溅射，450℃，80W,2h,然后950度 退火处理，制备的Ga2O3薄膜，在可见光范围内的透过率只有百分之二十几的样子，请问各位大神这是什么原因呢？
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1楼 2014-08-09 15:01:58
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lsx2121

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【答案】应助回帖

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little_mouse(ivansdk代发): 金币+3 2014-11-11 11:40:46
你检测一下 Ga2O3 是多少？ 你基底是什么材料的？ 在950度退火，基底材料是否有问题？
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2楼2014-08-11 11:46:57
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little_mouse

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lsx2121 at 2014-08-11 11:46:57
你检测一下 Ga2O3 是多少？ 你基底是什么材料的？ 在950度退火，基底材料是否有问题？

基片是石英玻璃
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3楼2014-09-03 17:44:02
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