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little_mouse

铜虫 (初入文坛)

[求助] Ga2O3薄膜在可见光范围内透光率很低,只有20-30%,是什么原因 已有1人参与

射频磁控溅射,450℃,80W,2h,然后950度 退火处理,制备的Ga2O3薄膜,在可见光范围内的透过率只有百分之二十几的样子,请问各位大神这是什么原因呢?
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lsx2121

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【答案】应助回帖

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little_mouse(ivansdk代发): 金币+3 2014-11-11 11:40:46
你检测一下 Ga2O3 是多少? 你基底是什么材料的? 在950度退火,基底材料是否有问题?
2楼2014-08-11 11:46:57
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little_mouse

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by lsx2121 at 2014-08-11 11:46:57
你检测一下 Ga2O3 是多少? 你基底是什么材料的? 在950度退火,基底材料是否有问题?

基片是石英玻璃
3楼2014-09-03 17:44:02
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