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zzzr1992

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[交流] 原子层沉积可不可以做C纤维界面层？已有1人参与

RT，现在通常用CVD法。ALD也算其中一种，不知道SiC能否用ALD法合成。

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原子层沉积技术-ALD 已经有7人回复

1楼 2014-08-05 12:45:12

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misaki8686

金虫 (正式写手)

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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

ALD方法镀膜层的好处是表面覆盖性能好、工艺温度低，但是SiC之类的碳化物有难度，氧化物则很容易。

2楼2014-09-08 21:20:36

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