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zjuxwy

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1楼 2014-08-02 10:18:59

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yuan999

专家顾问 (知名作家)

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专业: 半导体光电子器件
管辖: 微米和纳米

【答案】应助回帖

★ ★
zjuxwy: 金币+2 2014-08-06 15:35:54

这个应该没办法测量，为啥要管这些细节，让它处理就好了

我~心~依~旧

6楼2014-08-05 21:32:16

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查看全部 7 个回答

cz.87101

木虫 (正式写手)

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性别: GG
专业: 半导体材料

这得看plasma处理多长时间吧？还有气压、流量、功率啥的

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只有能打死的蚊子，没有能打死的小强！而偶就是打不死的小强！

2楼2014-08-02 11:40:52

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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

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注册: 2013-01-13
专业: 半导体微纳机电器件与系统

没法测量，很难安装测量机构

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3楼2014-08-03 09:54:43

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tangshi141

木虫 (正式写手)

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专业: 半导体电子器件

【答案】应助回帖

★ ★
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zjuxwy: 金币+2, ★有帮助 2014-08-06 15:35:43

可以测在装几片的架子上装探测器再引出来但是一般这个是在你做处理腔室的时候就和厂家说好了，现在再加可能对腔体的气密性有影响

4楼2014-08-04 08:50:38

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