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zjuxwy

禁虫 (小有名气)
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1楼 2014-08-02 10:18:59
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zjuxwy: 金币+2 2014-08-06 15:35:49
热电偶放在硅片背面，可以测一个大概的数值
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5楼2014-08-05 06:20:54
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cz.87101

木虫 (正式写手)
这得看plasma处理多长时间吧？还有气压、流量、功率啥的
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只有能打死的蚊子，没有能打死的小强！而偶就是打不死的小强！
2楼2014-08-02 11:40:52
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)
没法测量，很难安装测量机构
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2014-08-03 09:54:43
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tangshi141

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zjuxwy: 金币+2, ★有帮助 2014-08-06 15:35:43
可以测 在装几片的架子上装探测器 再引出来 但是一般这个是在你做处理腔室的时候就和厂家说好了，现在再加可能对腔体的气密性有影响
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4楼2014-08-04 08:50:38
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